ASTM International

Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications
 N F1513

Annotation

This specification covers pure aluminum metal (unalloyed) for use in evaporation sources and sputtering targets. This material is intended as a raw material for electronic applications. The material is used as-supplied in some cases (for example, as e-beam evaporation sources). In other instances it may be remelted, alloyed, cast and processed by the purchaser to make finished products (for example, sputtering targets).

This specification sets purity grade levels, physical attributes, analytical methods, and packaging.

The values stated in SI units are to be regarded as standard. No other units of measurement are included in this standard.

Автоматический перевод:

Стандартная спецификация для чистого алюминиевого (чистого) исходного материала для электронных тонкопленочных приложений

Эта спецификация покрывает чистый алюминиевый металл (чистый) для использования в источниках испарения и распыляющих целях. Этот материал предназначается как сырье для электронных приложений. Материал используется в качестве - предоставленный в некоторых случаях (например, в качестве источников испарения электронного луча). В других экземплярах это может быть повторно расплавлено, сплавлено, брошено и обработано покупателем для создания готовых изделий (например, распылив цели).