DANSK - Dansk Standard

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
 N DS/EN 62047-21

Annotation

IEC 62047-21:2014 specifies the determination of Poisson's ratio from the test results obtained by the application of uniaxial and biaxial loads to thin-film micro-electromechanical systems (MEMS) materials with lengths and widths less than 10 mm and thicknesses less than 10 µm.

Автоматический перевод:

Полупроводниковые устройства - Микроэлектромеханические устройства - Часть 21: Метод тестирования для отношения Пуассона тонкой пленки материалы MEMS

62047-21:2014 IEC определяет определение отношения Пуассона от результатов испытаний, полученных приложением одноосных и биаксиальных загрузок в тонкую пленку микроэлектромеханические системы (MEMS) материалы с длинами и ширинами меньше чем 10 мм и толщинами меньше чем 10 µm.

Эквиваленты данного стандарта:

• BSI BS EN 62047-21 Semiconductor devices — Micro-electromechanical devices Part 21: Test method for Poisson’s ratio of thin film MEMS materials