Вы нашли документ, содержащийся в электронной базе документов - "ТЕХЭКСПЕРТ"!
ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Охрана труда
- Авиатор
- Техэксперт: Эксплуатация зданий
- Техэксперт: Экология. Проф
ГОСТ Р 8.640-2008
Группа Т84.10
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений
РАДИОМЕТРЫ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В ФОТОЛИТОГРАФИИ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Radiometers of ultraviolet radiation measurements
for photolithography technological processes testing. Verification methods
ОКС 17.020
ОКСТУ 0008
Дата введения 2009-01-01
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"
Скачать документ нельзя - можно заказать Бесплатно! 1 документ
Документ будет отправлен на указанный Вами e-mail в течение 3 рабочих дней*
Часы работы: с Пн по Пт с 8:30 до 17:30 по московскому времени.
или
Посмотреть возможности крупнейшей электронной библиотеки "Техэксперт" - более 8 000 000 документов!
! После демонстрации Вы получите бесплатный доступ к базе данных «Информационный указатель стандартов» или к информационному каналу «Реформа технического регулирования», куда включены не только новые технические регламенты, но также их проекты - предстоящие изменения в области технического регулирования. Ни в одной другой базе данных этого нет!
