Вы нашли документ, содержащийся в электронной базе документов - "ТЕХЭКСПЕРТ"!
ГОСТ 25196-82 (СТ СЭВ 2760-80) Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Охрана труда
- Авиатор
- Законодательство России
- Об утверждении Правил сертификации электрооборудования для взрывоопасных сред
- О порядке сдачи квалификационного экзамена государственными гражданскими служащими Российской Федерации и оценки их знаний, навыков и умений (профессионального уровня) (с изменениями на 1 июля 2014 года)
- Законодательство России
- Техэксперт: Эксплуатация зданий
- Законодательство России
- Об утверждении Правил сертификации электрооборудования для взрывоопасных сред
- О порядке сдачи квалификационного экзамена государственными гражданскими служащими Российской Федерации и оценки их знаний, навыков и умений (профессионального уровня) (с изменениями на 1 июля 2014 года)
- Законодательство России
- Техэксперт: Экология. Проф
- Законодательство России
- Об утверждении Правил сертификации электрооборудования для взрывоопасных сред
- О порядке сдачи квалификационного экзамена государственными гражданскими служащими Российской Федерации и оценки их знаний, навыков и умений (профессионального уровня) (с изменениями на 1 июля 2014 года)
- Законодательство России
- Стройэксперт. "Вариант Лидер"
- Техэксперт: Ценообразование и сметное дело в строительстве
- Техэксперт: Помощник Проектировщика
- Техэксперт: Дорожное строительство
- Техэксперт: Пожарная безопасность
- Техэксперт: Промышленная безопасность
ГОСТ 25196-82
(СТ СЭВ 2760-80)
Группа Э71
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ. УСТАНОВКИ ДЛЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
Общие технические требования
Vacuum equipement. Apparatus for ion implantation. General technical requirement
ОКП 62 7335
Дата введения 1983-07-01
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 31 марта 1982 г. N 1383 срок действия установлен с 01.07.1983 г. до 01.07.1988 г.*
_______________
* Ограничение срока действия снято по протоколу Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС N 2, 1993 год). - Примечание изготовителя базы данных.
1. Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации (далее - установки), предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,660 57·10
до 217,534 67·10 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6·10
до 1,6·10
Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники.
Скачать документ нельзя - можно заказать Бесплатно! 1 документ
Документ будет отправлен на указанный Вами e-mail в течение 3 рабочих дней*
Часы работы: с Пн по Пт с 8:30 до 17:30 по московскому времени.
или
Посмотреть возможности крупнейшей электронной библиотеки "Техэксперт" - более 8 000 000 документов!
! После демонстрации Вы получите бесплатный доступ к базе данных «Информационный указатель стандартов» или к информационному каналу «Реформа технического регулирования», куда включены не только новые технические регламенты, но также их проекты - предстоящие изменения в области технического регулирования. Ни в одной другой базе данных этого нет!
